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當前位置:首頁开云体育体验MDP單晶和多晶矽片壽命測量儀(yi) (MDPmap)
產(chan) 品分類
MDP
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MDPmap單晶和多晶矽片壽命測量儀(yi) 被設計成一個(ge) 緊湊的台式非接觸電學表征工具,用於(yu) 離線生產(chan) 控製或研發,在穩態或短脈衝(chong) 激勵(μ-PCD)下,在一個(ge) 寬的注入範圍內(nei) 測量參數,如載流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信息。自動化的樣品識別和參數設置允許輕鬆適應各種不同的樣品,包括外延層和經過不同製備階段的晶圓,從(cong) 原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。
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