晶圓x射線晶體定向儀分揀係統Wafer XRD用於全自動分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測定等。Si | SiC | AlN | 藍寶石（Al2O3） | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

◇  自動化的晶圓處理和分類係統（例如：盒到盒）。

◇  晶體(ti) 取向和電阻率測量 

◇  晶片的幾何特征（缺口位置、缺口深度、缺口開口角度、直徑、平麵位置和平麵長度）的光學測定 

◇  未拋光的晶圓和鏡麵的距離測量 

◇  MES和/或SECS/GEM接口

晶圓x射線晶體(ti) 定向儀(yi) 分揀係統Wafer XRD的Omega-scan方法：

◇  高的精度 

◇  測量速度： < 5秒/樣品 

◇  易於(yu) 集成到工藝線中 

◇  典型的標準偏差傾(qing) 斜度（例如：Si 100）：   < 0.003 °，小於(yu) < 0.001 °。

全自動化的晶圓分揀和處理係統

Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀(yi)
主要裏程碑：        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞(ya) 瑟·布拉達切克和他的兒(er) 子漢斯·布拉達切克創立。

◆  1969 - 研製了世界上基於(yu) 集成電路的x射線檢測計數裝置，名為(wei) COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發 Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量係統 -    振蕩器產(chan) 量從(cong) 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉移到其他材料，如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金

◆  2010 - 推出用於(yu) 晶體(ti) 取向測量的台式 X 射線衍射儀(yi) ( DDCOM ) 

全球售出 約 150台石英分選係統

◆  2015 - X 射線技術和 EFG GmbH 合並到 Freiberg Instruments GmbH        

傳(chuan) 承60年德國工匠精神-三代X射線工程師