MDPlinescan在線少子壽命測試儀靈活的OEM少子壽命測試儀器，用於各種不同樣品的少子壽命測量，從單晶矽磚到多晶矽磚，從生長的矽片到不同層或金屬化的矽片的過程控製。標準的軟件接口，便於連接到許多處理或自動化係統。

MDPlinescan在線少子壽命測試儀(yi) 在眾(zhong) 多的少子壽命測量方法中，MDP（微波檢測光電導率）采用改進的少子壽命檢測技術，是微波檢測光電導衰減法檢測儀(yi) 中常用的儀(yi) 器之一，少子壽命測試儀(yi) 原理從(cong) 載流子輸運原理出發，建立廣義(yi) 速率方程和偏微分方程係統。擁有*的靈敏度和分辨率，很大程度提升在線檢測的速度和質量，快速出具少子壽命測試的實驗報告。
       

MDPlinescan被設計成一個(ge) 易於(yu) 集成的OEM設備，可以集成到各種自動化檢測線。關(guan) 鍵的是在傳(chuan) 送過程中進行少子壽命掃描。樣品通常由測量頭下麵的傳(chuan) 送帶或機器人係統攜帶。應用實例包括從(cong) 晶磚到晶圓檢測，單晶少子壽命測試、多晶少子壽命測試，每塊晶圓的測量速度小於(yu) 一秒。電池生產(chan) 線上的來料質量檢查是經典的通用案例，也用於(yu) 鈍化和擴散後的工藝質量檢查，還有許多其他特殊的應用的可能性。易於(yu) 集成，隻需要以太網連接和電源。
 

MDPlinescan W       

包括一個(ge) 額外的電阻率測量選項。        

MDPlinescan在線少子壽命測試儀(yi) 優(you) 點：         

◇  在µ-PCD或穩態激勵條件下線掃描少數載流子壽命和電阻率是這個(ge) 小型設備的重要功能；        

◇  OEM設備可以集成到多晶或單晶矽片的生產(chan) 線上，在不同的製備階段，直至器件、磚塊或晶錠。        

◇  小巧的尺寸和標準的自動化接口使其易於(yu) 集成。重點是測量結果的長期可靠性和精確性。        

        示範性線狀掃描圖        

細節：                  

◇  允許單晶圓片調查                 

◇  不同的晶圓級有不同的配方        

◇  監控物料、工藝質量和穩定性     

技術規格: