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半導體(ti) 專(zhuan) 用檢測儀(yi) 器設備
XRD
Freiberg-Ingot XRDIngot XRD - 晶錠X射線定向儀(yi)
產(chan) 品分類
Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀(yi)
Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀(yi) 主要裏程碑:
◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞(ya) 瑟·布拉達切克和他的兒(er) 子漢斯·布拉達切克創立。
◆ 1969 - 研製了世界上基於(yu) 集成電路的x射線檢測計數裝置,名為(wei) COUNTIX 130。
◆ 1989 - 開發 Omega-Scan 方法
BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量係統 - 振蕩器產(chan) 量從(cong) 50% 提高到 95%
◆ 2005 - 將 Omega 轉移到其他材料,如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金
◆ 2010 - 推出用於(yu) 晶體(ti) 取向測量的台式 X 射線衍射儀(yi) ( DDCOM )
全球售出 約 150台石英分選係統
◆ 2015 - X 射線技術和 EFG GmbH 合並到 Freiberg Instruments GmbH
傳(chuan) 承60年德國工匠精神-三代X射線工程師
Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀(yi) 的特點:
◇ 精度高
◇ 測量速度快: < 5秒/樣品
◇ 典型的標準偏差傾(qing) 斜度(例如:Si 100):< 0.003 °,極小< 0.001 °。
◇ 晶錠的自動對準
◇ 膠片的自動定位
◇ 光學測量晶錠和/或研磨原錠的幾何特征(平邊Flat、凹槽Notch位置)
◇ 晶錠的自動標記
◇ 易於(yu) 集成到工藝線中(手動或機器人裝載)。
◇ 數據矩陣代碼(DMC)閱讀器
◇ MES接口;SECS/GEM或類似接口
◇ 直徑達300毫米,長度達520毫米的晶錠
Ingot XRD prepared for manual loading
掃一掃,關(guan) 注公眾(zhong) 號
服務電話:
021-34685181