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半導體(ti) 專(zhuan) 用檢測儀(yi) 器設備
XRD
Freiberg-Omega/Theta XRDOmega/Theta XRD- 搖擺曲線測量
產(chan) 品分類
Omega/Theta XRD- 搖擺曲線測量意味著在Theta-scan模式下進行測量,這需要一個(ge) 測角儀(yi) 。一個(ge) 雙晶體(ti) 被帶入主光束路徑,以減少光譜寬度和發散度。然而,其副作用是強烈的強度降低。
晶體(ti) 反射的搖擺曲線表示晶格的質量。這可以點下來進行快速檢查,也可以與(yu) Mapping工具結合起來,得到一個(ge) 質量圖。
測量搖擺曲線意味著在Theta-scan模式下進行測量,這需要一個(ge) 測角儀(yi) 。一個(ge) 雙晶體(ti) 被帶入主光束路徑,以減少光譜寬度和發散度。然而,其副作用是強烈的強度降低。因此,雙晶體(ti) 被安裝在一個(ge) 可伸縮的支架上,以便能夠將其 "打開 "或 "關(guan) 閉"。
Rocking curves of a 6H SiC crystal measured along a line on spots of 8 mm distance
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