Omega/Theta XRD Mapping麵掃功能掃台允許使用受控的網格模式來探索整個樣品表麵。Omega/Theta XRD可以很容易地在轉盤頂部容納額外的XY定位平台。樣品表麵可以根據用戶定義的網格進行掃描。由於樣品上X射線光斑的大小，小的網格間距約為1毫米。

Omega/Theta XRD Mapping麵掃功能

Omega/Theta XRD Mapping麵掃功能掃台允許使用受控的網格模式來探索整個(ge) 樣品表麵。Omega/Theta XRD可以很容易地在轉盤頂部容納額外的XY定位平台。樣品表麵可以根據用戶定義(yi) 的網格進行掃描。由於(yu) 樣品上X射線光斑的大小，小的網格間距約為(wei) 1毫米。

繪圖階段可以與(yu) Omega掃描結合起來，以獲得晶體(ti) 方向圖，或與(yu) 搖擺曲線測量結合起來，以獲得表麵的扭曲圖。可提供用於(yu) 顯示和分析的軟件包。

Omega/Theta XRD Mapping麵掃功能

是診斷晶體(ti) 生長過程中和製造過程中出現的質量問題的一個(ge) 寶貴工具

即使在單晶中，晶體(ti) 取向也可以在表麵上表現出微小的變化，這是由晶格缺陷引起的內(nei) 部應變造成的。有序生長的薄膜也可以有一個(ge) 有趣的麵內(nei) 取向分布。

繪製一個(ge) 表麵需要大量的測量。在這裏，歐米茄掃描方法可以提供其速度方麵的優(you) 勢。圖中顯示的是在一個(ge) （Si，Ge）固溶體(ti) 晶片上測量的取向圖。較大的方向差是0.03°。同心圓是按照晶體(ti) 的生長環進行的。