弗萊貝格的MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命）係列主要用於測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等，其非接觸式檢測和無損成像（μPCD /MDP（QSS））的設計*符合SEMI標準PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內監控和材料優化等領域被廣泛應用。可以說，MDPpro是晶錠生產商以及晶體爐技術生產商d的標準儀器。

►公司簡介

 --Freiberg Instruments成立於(yu) 2005年，源自德國弗萊貝格工業(ye) 大學。初致力於(yu) 開發一係列快速、無損的電氣特性測試工具，用於(yu) 測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
 --2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產(chan) 品經驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產(chan) 品。
 --Freiberg Instruments是一家發展迅速，充滿活力，專(zhuan) 業(ye) 又具有創新的的分析儀(yi) 器公司，產(chan) 品廣泛應用於(yu) 劑量學、醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。 

►產(chan) 品介紹

 --弗萊貝格的MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀(yi) --少子壽命）係列主要用於(yu) 測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等，其非接觸式檢測和無損成像（μPCD /MDP(QSS)）的設計*符合SEMI標準PV9-1110。

 --這也使得該儀(yi) 器在晶圓切割、爐內(nei) 監控和材料優(you) 化以及常規質量控製、精密材料研發的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量等領域被廣泛應用。可以說，MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀(yi) --少子壽命）算得上是晶錠生產(chan) 商以及晶體(ti) 爐技術生產(chan) 商d的標準儀(yi) 器。

►特性&優(you) 勢:

 --無接觸和無破壞的半導體(ti) 檢測；

 --特殊“underneath the surface”壽命測量技術；

 --對不可見缺陷的可視化測試具有很高靈敏度；

 --自動設置矽錠切割標準；

 --空間分辨p/n電導型變換檢測；

 --多項數據同時自動檢測掃描，5幅測量圖形同時繪製；

 --堅固耐用的設計和易於(yu) 設置的性能。安裝，僅(jin) 需要電源。

►應用實例

-1.日常壽命測量，質量控製和檢驗

 --產(chan) 量：>240塊/天或>720片/天
 --測量速度：對於(yu) 156x156x400mm標準晶錠，<4分鍾
 --良品率提升：1mm切割標準為(wei) 156x156x400mm標準晶錠
 --質量控製：用於(yu) 過程和材料的質量監控，如單晶矽或多晶矽
 --沾汙檢測：起源於(yu) 坩堝和生產(chan) 設備的金屬(Fe)
 --可靠性：模塊化和堅固耐用的工業(ye) 儀(yi) 器，更高可靠性，運行時間> 99%
 --可重複性:> 99.5%
 --電阻率：可做麵掃描，不需經常校準

-2. 精密材料研發

 --a.鐵濃度測定
 --b.陷阱濃度測定
 --c.硼氧測定
 --d.依賴於(yu) 注入的測量等