MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試）是一個緊湊的離線台式檢測設備，主要被設計用於生產控製或研發、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數。其工作狀態為穩態或短脈衝激勵下（μ-PCD）。

?產(chan) 品介紹

 --MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢測儀(yi) --少子壽命測試）是一個(ge) 緊湊的離線台式檢測設備，主要被設計用於(yu) 生產(chan) 控製或研發、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數。其工作狀態為(wei) 穩態或短脈衝(chong) 激勵下（μ-PCD）。

 --MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢測儀(yi) --少子壽命測試）自動化的樣品識別和參數設置可以使該儀(yi) 器方便地適應各種不同的樣品，包括從(cong) 生長的晶圓到高達95%的金屬化晶圓之間不同製備階段的各種外延片和晶圓片。

 --MDPmap主要優(you) 點是其高度的靈活性，它允許集成多達4個(ge) 激光器，用於(yu) 從(cong) 超低注入到高注入的與(yu) 注入水平相關(guan) 的壽命測量，或者通過使用不同的激光波長提取深度信息。

?設備特點

 --靈敏度：對外延工藝監控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的較高分辨率
 --測量速度：6英寸矽晶圓片，1mm分辨率 ，小於(yu) 5分鍾
 --壽命測試範圍: 20納秒到幾十毫秒
 --沾汙檢測：源自坩堝和生長設備的金屬(Fe)汙染
 --測量能力：從(cong) 初始切割的晶圓片到所有工藝加工的樣品
 --靈活性：允許外部激光通過觸發器，與(yu) 探測模塊耦合
 --可靠性： 模塊化和緊湊台式儀(yi) 器，更高可靠性，正常運行時間> 99%
 --重現性： > 99.5%
 --電阻率：無需時常校準的電阻率麵掃描

?設備參數