德國弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或麵掃檢測儀）是一款靈活的OEM設備，可以用於多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶到多晶矽錠，從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控製。配置標準軟件接口，易於連接到許多處理或自動化係統。

►公司簡介

Freiberg Instruments成立於(yu) 2005年，源自德國弗萊貝格工業(ye) 大學。
初致力於(yu) 開發一係列快速、無損的電氣特性測試工具，用於(yu) 測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產(chan) 品經驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產(chan) 品。
Freiberg Instruments是一家發展迅速，充滿活力，專(zhuan) 業(ye) 又具有創新的的分析儀(yi) 器公司，產(chan) 品廣泛應用於(yu) 劑量學、
醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。 

►產(chan) 品介紹

德國弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或麵掃檢測儀(yi) ）是一款靈活的OEM設備，可以用於(yu) 多種不同樣品的在線壽命測量：從(cong) 單晶到多晶矽錠，從(cong) 生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控製。

MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或麵掃檢測儀(yi) ）配置標準軟件接口，易於(yu) 連接到許多處理或自動化係統。

 --各種不同的樣品，從(cong) 單晶矽到多晶矽，從(cong) 生長的晶片到加工過的晶片，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進行檢測。

 --MDPlinescan是一個(ge) 易於(yu) 集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關(guan) 鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。

 --樣品通常由測量頭下的傳(chuan) 送帶或機器人係統來輸送。應用實例從(cong) 晶錠到晶圓的檢測，每個(ge) 晶圓的測量速度小於(yu) 一秒。

 --該儀(yi) 器有許多專(zhuan) 門應用可能性。由於(yu) 其易於(yu) 集成，隻需要以太網連接和電源即可。例如，電池生產(chan) 線上的來料質量檢查是其常用的一種應用方向，同樣，鈍化和擴散後的工藝質量檢查也能用到此款產(chan) 品。

►特性

 --允許單片調查

 --配方的基礎測量

 --監控材料質量、工藝的完整性和穩定性

►優(you) 勢

 --在µ-PCD或穩態激發條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個(ge) 工具的重點。

 --用於(yu) 集成在生產(chan) 線的多晶或單晶矽晶圓,包括材料製備，和各種工藝處理階段。

 --小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。優(you) 勢是長時間的可靠性和測量結果的高精度。

►技術參數