德國弗萊貝格儀器的XRD-OEM（在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀），主要用於對晶體的定向以及切口/平麵形狀和位置的測量，其可以直接集成到研磨或鋸切設備中使用，將測量過程整合到工業生產中，解決了由於加工設備和定向測量過程分開而造成的定向誤差等行業難題。

►產(chan) 品介紹

德國弗萊貝格儀(yi) 器的XRD-OEM(在線X射線衍射儀(yi) --X射線單晶定向儀(yi) )，主要用於(yu) 對晶體(ti) 的定向以及切口/平麵形狀和位置的測量。

XRD-OEM(在線X射線衍射儀(yi) --X射線單晶定向儀(yi) )可以直接集成到研磨或鋸切設備中使用，將測量過程整合到工業(ye) 生產(chan) 中，解決(jue) 了由於(yu) 加工設備和定向測量過程分開而造成的定向誤差等行業(ye) 難題。

►XRD-OEM的特點

 --可以集成任何自動化或處理係統且適用於(yu) 環境(研磨、鋸切)

 --緊湊、標準的工業(ye) 接口

 --獨立定位測量，可測量平麵或圓周

 --光學等級檢測

 --解決(jue) 了行業(ye) 難題:

     -如果加工設備和定向測量是分開的，那麽(me) 就會(hui) 因為(wei) 樣品轉移

      而造成定向誤差

     -市場對於(yu) 準確對齊的晶圓的需求量越來越大

 --將測量過程整合到工業(ye) 生產(chan) 中（研磨或鋸切）

►技術參數

 --可測量材料：矽，碳化矽，砷化镓及更多

 --樣品尺寸：鋼錠直徑450毫米

 --冷卻：空氣，低噪音

 --可能的用途：在鋸/磨/平/缺口檢測前對大型晶錠進行預對準

►應用實例

 矽錠取向:

 --磨削前對平麵和缺口位置的檢測

 --樣品直徑可達8 "，長度可達40厘米

►XRD-OEM適配普遍的打磨設備

 無需移動樣本即可進行定向，可與(yu) 打磨產(chan) 線相結合直接進行在線檢測

可以直接集成到基礎機圓磨床72/856上