弗萊貝格Omega/Theta X射線衍射儀-單晶矽定向儀能提供自動的晶格定位和樣品校準的在線解決方案，我們專注於超高速和準確的Omega掃描方法，可在幾秒鍾內確定完整的晶體取向。可添加二維（X-Y）或三維掃描，全自動化的搖擺曲線測量，使得XRD單晶定向儀成為單晶製造商質量控製環節中一個重要組成部分。

弗萊貝格Omega/Theta X射線衍射儀(yi) -單晶矽定向儀(yi) 能提供自動的晶格定位和樣品校準的在線解決(jue) 方案，我們(men) 專(zhuan) 注於(yu) 超高速和準確的 Omega掃描方法，可在幾秒鍾內(nei) 確定完整的晶體(ti) 取向。可添加二維(X-Y)或三維掃描，全自動化的搖擺曲線測量，使得XRD單晶定向儀(yi) 成為(wei) 單晶製造商質量控製環節中一個(ge) 重要組成部分。

►應用範圍

作為(wei) 快速、簡單、可靠的X射線單晶定向儀(yi) ，弗萊貝格Omega/Theta Omega/Theta X射線衍射儀(yi) -單晶矽定向儀(yi) 被廣泛應用於(yu) 工業(ye) 生產(chan) 的質量控製、材料研發等領域，主要用於(yu) 超高速晶體(ti) 定向和搖擺曲線的測量。

►應用技術

• 可用於生產的立式XRD
• 轉移技術：可高效率進行多個鑄錠同時定向（堆疊）
• 同時測定（Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、藍寶石、渦輪葉片等200多種晶體材料）幾乎所有晶體方向取向。
• 快速測量晶體取向，測量時間僅需5秒，精度：0.003°
• 自動晶片分類和處理
• 搖擺曲線測量和3Dmapping繪圖 、晶圓表麵翹曲度偏差檢測
• 整塊晶圓和渦輪葉片晶體取向mapping 
• 設備操作簡單、快捷、方便，適用於各研究機構和全自動化生產線

►應用實例

案例1：

藍寶石取向 mapping、搖擺曲線測量：窄反射峰=表麵質量好

案例2：

SiC 取向 mapping、搖擺曲線測量：寬反射峰=晶體(ti) 表麵局部幹擾

案例3：

碳化矽晶圓檢測案例——晶體(ti) 取向mapping

1.總傾(qing) 斜偏差mapping

2.表麵傾(qing) 斜偏差mapping

3.垂直方向傾(qing) 斜偏差mapping

4.水平傾(qing) 斜偏差mapping

5.搖擺曲線mapping