德國Freiberg Instruments（弗萊貝格儀器）公司的Omega/Theta XRD（X射線單晶定向儀-Omega掃描）主要針對半導體晶體材料和光學材料生產研發，該儀器采用*的Omega掃描方法測定晶體結構並檢測單晶取向，具有成熟的單晶X射線衍射儀（XRD）技術，且可集成至全自動生產線中，是一台可測大直徑的全自動晶圓和鑄錠定向檢測分揀設備。

►產(chan) 品介紹

德國Freiberg Instruments（弗萊貝格儀(yi) 器）公司的Omega/Theta XRD（X射線單晶定向儀(yi) -Omega掃描）主要針對半導體(ti) 晶體(ti) 材料和光學材料生產(chan) 研發，該儀(yi) 器采用*的Omega掃描方法測定晶體(ti) 結構並檢測單晶取向，具有成熟的單晶X射線衍射儀(yi) （XRD）技術，且可集成至全自動生產(chan) 線中，是一台可測大直徑的全自動晶圓和鑄錠定向檢測分揀設備。

►技術特點

 --全自動的垂直三軸衍射儀(yi) ，使用Omega掃描和Theta掃描方法以及搖擺曲線測定各種晶體(ti) 的方向。配備可容納長達450毫米和30公斤的樣品及樣品架；

 --自動化測量，並通過定製軟件進行訪問。利用Omega掃描，可在晶體(ti) 旋轉(5秒)中確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活，但每次掃描隻產(chan) 生一個(ge) 方向分量；

 --準確地確定傾(qing) 斜角度，Theta掃描精度達到0.001°；

 --模塊化係統，並配備了多功能需求擴展。

►行業(ye) 應用

具有多種幾何形狀和大小的樣品 

根據材料和產(chan) 量的不同，晶體(ti) 樣品可以表現出多種尺寸和幾何形狀。Omega/Theta X射線衍射儀(yi) （X射線單晶定向儀(yi) -Omega掃描）可以處理大塊鋼錠或鋼球和實驗合成的微小晶體(ti) 。

非線性光學材料(NLO)：晶體(ti) 質量和定向 

與(yu) 典型的無機金屬、半導體(ti) 和絕緣體(ti) 相比，NLO材料具有更複雜的晶體(ti) 結構和更低的對稱性。這些晶體(ti) 通常被切割成尺寸在毫米範圍內(nei) 的小棒，而對這種小晶體(ti) 的表麵質量測定常常可以揭示晶體(ti) 內(nei) 部的結構缺陷和裂紋。通過對Omega/Theta的設計進行的一些特殊的修改，我們(men) 的定向儀(yi) 能夠確定許多NLO材料，如LBO, BBO和TeO2的的晶向。

平麵方向的標記和測量 

Omega掃描能夠在一次測量中確定完整的晶體(ti) 方位。因此，平麵方向可以直接識別。這是一個(ge) 有用的功能，以標記在平麵方向或檢查方向的單位或缺口。

搖擺曲線:晶體(ti) 表麵評價(jia)  

搖擺曲線測量對晶格內(nei) 的缺陷和應變場很敏感。將這種技術與(yu) 映射階段相結合，可以掃描晶體(ti) 表麵並確定缺陷區域。通過裝備一個(ge) 具有映射階段和雙晶體(ti) 的Omega/Theta衍射儀(yi) ，可以直接測量晶體(ti) 表麵某一反射的搖擺曲線映射。

如下圖顯示的結果，這種映射的碳化矽晶圓片的內(nei) 部呈現出兩(liang) 到三倍於(yu) 搖擺曲線的FWHM。這可能與(yu) 表麵劃痕或生長缺陷有關(guan) 。