Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀用於超快速的晶體定向、生產中的晶體排列、質量控製、搖擺曲線測量、材料研究等。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀(yi)      

主要裏程碑：        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞(ya) 瑟·布拉達切克和他的兒(er) 子漢斯·布拉達切克創立。        

◆  1969 - 研製了世界上基於(yu) 集成電路的x射線檢測計數裝置，名為(wei) COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發 Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量係統 -    振蕩器產(chan) 量從(cong) 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉移到其他材料，如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金  

◆  2010 - 推出用於(yu) 晶體(ti) 取向測量的台式 X 射線衍射儀(yi) ( DDCOM ) 

全球售出 約 150台石英分選係統

◆  2015 - X 射線技術和 EFG GmbH 合並到 Freiberg Instruments GmbH     

傳(chuan) 承60年德國工匠精神-三代X射線工程師        

 Omega/Theta XRD - X射線晶體(ti) 定向儀(yi) 產(chan) 品優(you) 勢：       

◆  采用Omega-scan掃描方法       

◆  測試速度快: 5s        

◆  測角精度高: 0.003        

◆  兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能        

◆  磨拋定向解決(jue) 方案        

◆  擁有晶錠粘接轉移的技術（堆垛 stacking）專(zhuan) 為(wei) SiC工業(ye) 設計，被多家SiC襯底頭部企業(ye) 青睞，如：II-VI Advanced Materials, SiCrystal等，國外四分之三的碳化矽製造商依賴Freiberg Instruments公司的晶體(ti) 取向測量技術，極大提高了生產(chan) 效率，提升產(chan) 品質量。 

◆  Mapping 麵掃功能，搖擺曲線測定         

◆  易於(yu) 集成到工藝線中        

◆  MES和/或SECS/GEM接口        

◆  傾(qing) 斜的典型標準偏差（例如：Si 100）：< 0.003 °，小於(yu) < 0.001 °        

Omega/Theta X射線衍射儀(yi) 是一個(ge) 全自動的垂直三軸衍射儀(yi) ，用於(yu) 使用Omega-Scan和Theta-Scan方法對各種晶體(ti) 進行取向測定和搖擺曲線測量。大而寬敞的設計可以容納長度達450毫米、重量達30公斤的樣品和樣品架。        

傾(qing) 斜角可以以非常高的精度確定；使用Theta掃描可以達到0.001°。對於(yu) 所有其他晶體(ti) 方向，精度取決(jue) 於(yu) 與(yu) 表麵垂直的角差。        

該係統是模塊化的，已經配備了許多不同的擴展，用於(yu) 特殊的目的，如形狀或平麵的確定、繪圖和不同的樣品架。樣品的傾(qing) 斜是通過光學測量檢測出來的，並可用於(yu) 校正所產(chan) 生的方向。        

Omega/Theta XRD - X射線晶體(ti) 定向儀(yi) ：        

◆  全自動完整的單晶體(ti) 晶格取向測量        

◆  使用歐米茄掃描法進行超快速的晶體(ti) 取向測量        

◆  自動搖動曲線測量功能        

◆  衍射儀(yi) 的角度分辨率：0.1角秒。        

◆  樣品尺寸可達450毫米        

◆  適用於(yu) 生產(chan) 質量控製和研究        

 用戶友好，成本效益高：        

◆  方便的樣品處理，易於(yu) 操作        

◆  *的、用戶友好的軟件        

◆  能源消耗和運行成本低        

◆  模塊化設計，靈活性強        

◆  各種升級選項        

◆  根據用戶的要求進行定製        

選配功能：        

◆  自動Mapping麵掃功能        

◆  Omega/Theta – 晶錠粘接轉移的技術（堆垛 stacking）        

◆  Omega/Theta - 搖擺曲線測量        

◆  Omega/Theta - 定製的樣品台        

◆  用於(yu) 樣品形狀測量的激光掃描儀(yi)         

◆  光學檢測，用於(yu) 平麵和凹槽檢測        

◆  額外的樣品旋轉軸用於(yu) 3D繪圖        

◆  二級通道切割準直器（分析器）        

◆  用於(yu) 樣品調整的設備