晶圓片在線麵掃檢測儀是一種用於快速定量測量載流子壽命並集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內，就可以“動態"測量出晶圓圖。

MDPinline是一種用於(yu) 快速定量測量載流子壽命並集成掃描功能的檢測儀(yi) 。通過工廠安裝的傳(chuan) 送帶將晶圓片移至儀(yi) 器，在不到一秒的時間內(nei) ，就可以“動態”測量出晶圓圖。

優(you) 勢介紹：一秒一片!可集成在生產(chan) 線上的高速晶圓載流子壽命的麵掃測試，在不到一秒內(nei) 就能形成單個(ge) 矽片的二維圖像。

    該儀(yi) 器本身不使用機械運動部件，因此在連續操作下也非常可靠。它為(wei) 每個(ge) 晶圓片提供完整的拓撲結構，這為(wei) 提高生產(chan) 線的成本效益和效率提供了新的途徑，而這些都是迄今為(wei) 止*的。例如，在不到3個(ge) 小時的時間內(nei) ，對10000個(ge) 晶圓片的拓撲結構進行自動統計評估，結果可以顯示出晶體(ti) 生長爐的性能和材料質量的各種細節。 

        實時的質量檢測可以幫助提高和優(you) 化諸如擴散和鈍化等處理步驟。在運行的生產(chan) 過程中，MDPinline可以立即檢測到某個(ge) 處理步驟的任何故障，從(cong) 而使產(chan) 品達到的性能。 

優勢介紹

◆ 在不到一秒的時間內(nei) ，可對一個(ge) 晶圓片進行全電特性測試。測量參數：載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線掃描)。

◆在非常短的時間內(nei) 獲得數以千計的晶圓片的統計信息可有效地幫助晶圓廠控製過程和生產(chan) 。

◆適用於(yu) 測量晶圓片的材料質量，以及識別晶圓片層麵的結晶問題，例如在光伏行業(ye) 。

◆適用於(yu) 擴散過程的完整性控製、鈍化效率和均勻性控製。

技術參數

其它細節

· 允許單片控製

· 參數自動設置，預定義(yi) 的排序菜單

· 多達15個(ge) 質量等級的晶圓片自動分揀

· 監控材料質量、工藝的完整性和穩定性

· 快速提升工藝和生產(chan) 線