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少子壽命測試儀(yi) µPCD/MDP (MDPpro 850+)用於(yu) 單晶矽錠、矽磚和矽晶圓片的生產(chan) 和質量監控。用於(yu) HJT、HIT、TOPcon、雙麵PERC、PERC+太陽能電池、鈣鈦礦等中的矽材料。
MDPmap單晶和多晶矽片壽命測量儀(yi) 被設計成一個(ge) 緊湊的台式非接觸電學表征工具,用於(yu) 離線生產(chan) 控製或研發,在穩態或短脈衝(chong) 激勵(μ-PCD)下,在一個(ge) 寬的注入範圍內(nei) 測量參數,如載流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信息。自動化的樣品識別和參數設置允許輕鬆適應各種不同的樣品,包括外延層和經過不同製備階段的晶圓,從(cong) 原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。
MDPlinescan在線少子壽命測試儀(yi) 靈活的OEM少子壽命測試儀(yi) 器,用於(yu) 各種不同樣品的少子壽命測量,從(cong) 單晶矽磚到多晶矽磚,從(cong) 生長的矽片到不同層或金屬化的矽片的過程控製。標準的軟件接口,便於(yu) 連接到許多處理或自動化係統。
MDPspot少子壽命測試儀(yi) 低成本桌麵單點測量矽片或晶磚,用於(yu) 在不同製備階段表征各種不同的矽樣品,無需內(nei) 置自動化。可選手動操作的z軸厚度高達156毫米的矽磚樣品,高達156毫米矽磚,結果可視化的標準軟件。
弗萊貝格的MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀(yi) --少子壽命)係列主要用於(yu) 測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等,其非接觸式檢測和無損成像(μPCD /MDP(QSS))的設計*符合SEMI標準PV9-1110。這也使得該儀(yi) 器在晶圓切割、爐內(nei) 監控和材料優(you) 化等領域被廣泛應用。可以說,MDPpro是晶錠生產(chan) 商以及晶體(ti) 爐技術生產(chan) 商d的標準儀(yi) 器。
MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測儀(yi) --少子壽命測試)是一個(ge) 緊湊的離線台式檢測設備,主要被設計用於(yu) 生產(chan) 控製或研發、測量少子壽命、光電導率、電阻率和缺陷信息等參數。其工作狀態為(wei) 穩態或短脈衝(chong) 激勵下(μ-PCD)。
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