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靈活的OEM設備,用於(yu) 多種不同樣品的在線壽命測量:從(cong) 單晶矽到多晶矽錠,從(cong) 生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控製。標準軟件接口,易於(yu) 連接到許多處理或自動化係統。
晶圓片在線麵掃檢測儀(yi) 是一種用於(yu) 快速定量測量載流子壽命並集成掃描功能的檢測儀(yi) 。通過工廠安裝的傳(chuan) 送帶將晶圓片移至儀(yi) 器,在不到一秒的時間內(nei) ,就可以“動態”測量出晶圓圖。
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