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德國弗萊貝格MDPinlinescan(MDP在線晶圓片/晶錠點掃或麵掃檢測儀(yi) )是一款靈活的OEM設備,可以用於(yu) 多種不同樣品的在線壽命測量:從(cong) 單晶到多晶矽錠,從(cong) 生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控製。配置標準軟件接口,易於(yu) 連接到許多處理或自動化係統。
MDPinline(MDP高速晶圓片在線麵檢測儀(yi) --少子壽命檢測)是一種用於(yu) 快速定量測量載流子壽命並集成掃描功能的檢測儀(yi) 。通過工廠安裝的傳(chuan) 送帶將晶圓片移至儀(yi) 器,在不到一秒的時間內(nei) ,就可以“動態”測量出晶圓圖。該儀(yi) 器可為(wei) 每個(ge) 晶圓片提供完整的拓撲結構,有效提高了生產(chan) 線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優(you) 化諸如擴散和鈍化等處理步驟。
德國弗萊貝格儀(yi) 器的MDPinline ingot(MDP晶錠在線麵掃檢測儀(yi) --進口少子壽命測試)係統是快速多晶矽晶錠電學參數特性測量工具。它是專(zhuan) 為(wei) 高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鍾時間裏測量其四麵。所有的圖譜(壽命,光電導率,電阻率)都可以同時進行測量。
德國Freiberg Instruments的MDPicts(MDP微波探測光誘導電流瞬態譜儀(yi) --少子壽命),非接觸且無損傷(shang) ,用於(yu) 溫度依賴的少數載流子壽命測量以及半導體(ti) 的界麵陷阱和體(ti) 陷阱能級的電性能表征。MDpicts將在半導體(ti) 材料的基礎研究與(yu) 開發領域取得廣泛的應用。
台式PID(Potential Induced Degradation)潛在誘導退化測試儀(yi) ,用於(yu) c-Si太陽能電池和光伏迷你組件的售前和安裝後質量檢測。
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