技術文章
TECHNICAL ARTICLES突破性技術:激光燒結實現1毫米級無裂紋摻鉺二氧化矽薄膜
Lexsyg光譜儀(yi) 精確驗證光學性能
文章來源:
在矽基光學器件領域,如何製備高厚度、無裂紋且具備優(you) 異發光性能的薄膜一直是技術難題。克萊姆森大學聯合研究團隊通過CO₂激光燒結技術成功製備出厚度超過1毫米的無裂紋摻鉺二氧化矽薄膜,為(wei) 微型化閃爍體(ti) 和光學波導器件提供了全新解決(jue) 方案。研究中,lexsyg research作為(wei) 重要檢測設備,精確揭示了材料的發光特性與(yu) 閃爍性能。
技術突破:從(cong) 溶膠配方到激光燒結的全流程創新
1、溶膠-凝膠前驅體(ti) 優(you) 化
原料創新:采用四乙氧基矽烷(TEOS)與(yu) 六甲基二矽氧烷(HMDS)混合體(ti) 係,通過調控HMDS比例(矽摩爾占比25%),將凝膠時間延長至24小時,避免相分離。
稀土摻雜:引入0.5%的鉺離子(Er³⁺)和1%的鋁離子(Al³⁺),提升發光效率並抑製濃度淬滅,同時通過Pluronic F127聚合物調節溶膠流變性,減少幹燥應力。
2、CO₂激光燒結工藝
設備配置:采用10.6 μm波長CO₂激光(功率7 W,掃描速度1 mm/s),聚焦光斑直徑1 mm,通過局部快速加熱實現薄膜致密化。
厚度突破:單層薄膜厚度從(cong) 傳(chuan) 統爐火燒結的500 nm提升至1毫米以上,且無裂紋產(chan) 生,關(guan) 鍵歸因於(yu) 局部熱應力鬆弛機製(有限元模型驗證,圖1)。
圖1. (A)二氧化矽:鉺在379nm激發下的PL光譜;(B)在550nm監測二氧化矽:鉺的PL光譜;(C)二氧化矽在379nm激發下的PL光譜;(D)二氧化矽:鉺的RL光譜;和(E)二氧化矽的RL光譜。
性能驗證:lexsyg揭示材料發光特性
1、光致發光(PL)與(yu) 放射發光(RL)測試
lexsyg重要作用:通過lexsyg research光譜儀(yi) 對X射線激發下的薄膜進行測試,結果顯示:摻鉺薄膜在550 nm處呈現強烈的Er³⁺特征峰(4S3/2→4I15/2躍遷),與(yu) 光電倍增管檢測波段高度匹配。
發現:RL譜中觀察到467 nm峰(2P3/2→4I11/2躍遷),證實材料在輻射探測中的高靈敏度。
圖2.在以1 mm/s的速度進行7w激光掃描之後,由AFM測量的薄膜厚度:(A)大約914 nm的原始厚度,和(B)大約3080 nm的原始厚度。
2、結構穩定性與(yu) 致密化
SEM/AFM分析:激光燒結後薄膜致密度接近熔融石英基底,收縮率穩定在67%,與(yu) 爐火燒結效果相當。
應力控製機製:有限元模擬表明,激光燒結通過 “軟區應力釋放”抑製裂紋,而傳(chuan) 統燒結因整體(ti) 受熱導致應力累積。
結論與(yu) 行業(ye) 應用前景
本研究通過溶膠-凝膠結合CO₂激光燒結技術,突破傳(chuan) 統工藝的厚度限製,成功製備出1毫米級無裂紋摻鉺二氧化矽薄膜。lexsyg的高靈敏度光譜分析能力為(wei) 材料性能驗證提供了可靠數據支持,凸顯其在光學材料研發中的不可替代性。該技術有望應用於(yu) :
1、高能物理探測:如粒子加速器中的微型化閃爍體(ti) 探測器;
2、醫學成像:X射線/γ射線成像設備的靈敏層材料。
掃一掃,關(guan) 注公眾(zhong) 號
服務電話:
021-34685181