技術文章
TECHNICAL ARTICLES目前的半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 正麵臨(lin) CMOS微縮極限的挑戰,業(ye) 界需要通過半導體(ti) 封裝技術的不斷創新和發展來彌補性能上的差距。不過,這同時也帶來了日益複雜的封裝架構和新的製造挑戰,當然,同時更是增加了封裝故障的風險。而這些發生故障的位置往往隱藏於(yu) 複雜的三維結構之中,傳(chuan) 統的故障位置確認方法似乎已經難以滿足高效分析的需求了。因此,行業(ye) 需要新的技術手段來有效地篩選和確定產(chan) 生故障的根本原因。而可以無損表征樣品三維結構的XRM技術剛好迎合了半導體(ti) 行業(ye) 的這一需求,通過提供亞(ya) 微米和納米級別的3D圖像,這一技術可以讓科研人員在完整的封裝3D結構中的快速找出隱藏其中的特性與(yu) 缺陷。
實例一 PCB電路板焊球缺陷檢測
PCB內(nei) 部(焊球)結構正交三視圖
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切片圖,焊球裂紋(左圖) 三維體渲染圖,焊球空洞(右圖) |
實例二 芯片內(nei) 部引線及焊接點檢測
二維投影圖
二維投影圖(局部放大)
三維體(ti) 渲染圖.
三維體(ti) 渲染圖(局部放大)
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